Принцип действия заключается в формировании плазмы в процессе ионизации газа в разряде в магнитном и электрическом полях, когда они скрещиваются. После этого ионы отбираются с плазмы и ускоряются электрополем. Стенки канала из металла под катодным потенциалом. В кольцевом зазоре создается радиальное поле, спадает в аноде и у апертуры.
Магнитное поле получается с поперечной компонентой, электрическое – с продольной. В скрещенных полях работает сила Лоренца, в результате чего оно дрейфует в азимут. В кольцевом зазоре образуется двойной электрический слой. Электроны в таких условиях ограничены в движении, а электрическое поле ускоряет ионы вдоль оси.
Двухлучевой источник создает 2 ионных пучка. Один из них распыляет материал мишени, другой – очищает подложки ионами и осуществляет ассистирование. Многоячеечный источник создает 21 пучок. Использовать ионный источник можно долго без его чистки. Нужно только иногда очищать апертуру от загрязнений, чтобы предотвратить искажение и дужение пучка. Для этого оборудование разбирать не понадобится.
Многоячеечный ионный источник получил широкое применение в различных областях:
Анодное напряжение | 800-6000 |
Ток заряда | До 300 мА |
Ток пучка | До 250 мА |
Энергия ионов | 300-2000 |
Рабочее давление | 0,01-0,06 ПА |
Диаметр мишени | 80 мм |
Расход газа | До 40 мл/мин |
Вы можете заказать ионный источник с ускорителем с анодным слоев, который полностью соответствует нормам безопасности в компании ООО «Дана Инжиниринг» в Краснодаре. Для этого достаточно связаться с нашим специалистом через обратную форму на сайте или по телефону 8(800)222-90-33
ООО «Рефлакс» предлагает Вам широкий ассортимент высокоэффективных и экономичных газоразрядных ламп высокого давления собственного производства